Construcción de equipo de recubrimiento por centrifugación de bajo costo para deposición de películas delgadas de TiO2 sobre diferentes sustratos
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Date
2020-07
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Publisher
LACCEI Inc.
Abstract
Se construyó un equipo para la fabricación de películas delgadas por recubrimiento mediante centrifugación (spin coating). Se usó un motor con temporizador para el control de las velocidades constantes de 1000 a 6000 rpm por 100 s. los cuales se lograron medir con un tacómetro óptico. Las películas de TiO2 fabricadas por el equipo, fueron depositadas sobres tres sustratos diferentes (ITO, Si y vidrio), recocidas a 500°C después de las decima capa, con la finalidad de mejorar su estructura. Las películas fueron caracterizadas median un microscopio electrónico de barrido (MEB), difractograma de rayos X (DRX) e Infrarrojo con transformada de Fourier(FTIR). El DRX muestra que todas las películas poseen estructura anatase pura, con un crecimiento preferencial en el pico (101), el FTIR muestra el modo de vibración en el pico 433 cm-1 perteneciente a la fase anatase. Los resultados del MEB muestran los grosores de las películas están en el orden de los nanómetros, siendo las películas de TiO2 depositadas sobre Si las que poseen un grosor de 332.10 nm, menos de la mitad en comparación con las otras dos. Se concluye que se logró construir un equipo de spin coating a bajo costo verificado con la fabricación de películas de TiO2 uniformes.
Description
Keywords
spin coating, dióxido de titanio, anatase, deposición de películas, sustrato